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参数名称
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参数详情
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吸嘴数量
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2嘴
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长宽高
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198022101700mm
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重量
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3500kg
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轨道数量
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1组
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宽度调节方式
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采用电动调节
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轨道兼容尺寸
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100100mm-330450mm(厚度:2-5mm,特殊支持定制)
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治具尺寸
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最小100100mm 最大330450mm
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治具厚度
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2-5mm 支持特殊定制
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轨道承重
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20Kg
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加热平台
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MAX:450°
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氮气保护
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支持氮气、氮氢气体保护,半开放式保护
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产品/治具固定方式
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上下夹板、电动平台
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贴装头组
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2支吸嘴
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最佳贴装速度CPH
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≥1800(与实际产品工艺有关)
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保压时长
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最小0.2S
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贴片精度
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±0.01mm
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贴装角度精度
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±0.1°
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贴片压力
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50g-30Kg
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对应芯片尺寸
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22mm-2020mm (微小芯片可定制)
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Wafer机构
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支持6、8、12寸晶圆上料,支持3款顶针自动切换
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华夫盘上料机构
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标准2、4寸华夫盘堆叠上料,特殊尺寸、吸塑盒可定制
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其它供料模块
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可支持调配编带来料等供料模块兼容(银膏、银膜工艺兼容)
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Mark相机识别范围
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2mm2mm-1010mm
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元件相机识别范围
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22-2020mm (微小芯片可定制)
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元件相机类型
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固定相机
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二维码识别
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满足2mm2mm-10mm10mm二维码读取
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视觉检测范围
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0.2mm0.2mm-10mm10mm
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AOI模组贴后检测内容
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芯片轮廓、偏移、PR识别等
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X轴
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直线电机+光栅尺,全闭环控制
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Y轴
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双直线电机+光栅尺,全闭环控制
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Z轴
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音圈电机(ZR模组)
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R轴
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音圈电机(ZR模组)
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MES采集
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支持TCP/IP通信协议
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MES上传
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支持二维码、条形码识别/绑定上传MES
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SECS-GEM
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支持半导体设备通信标准
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追溯功能
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支持治具/DBC扫码
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银烧结工艺贴片机是实现银烧结芯片封装工艺的核心专用设备,主要负责将SiC等功率芯片结合银烧结材料精准贴装到基板上,为后续高温烧结定型做准备,是先进半导体封装必不可少的装备。
核心作用与技术要求
在碳化硅(SiC)等第三代半导体功率器件封装中,传统软钎焊工艺已无法满足高温高功率的可靠性需求,银烧结技术凭借更高导热性、可靠性成为行业主流,而预烧结贴片机就是该工艺的核心前置装备:
高精度对位:需要达到亚微米级(通常±0.01mm @ 3σ)的贴装精度,适配高密度多芯片封装
力热精准控制:需覆盖0.5N-500N以上的大范围贴装压力,贴片头和工作台可独立加热至200℃以上,精准控制预烧结温度
物料兼容性强:支持银膏、银膜、预烧结银焊片等多种银烧结材料,兼容SiC芯片、DBC/AMB基板、散热端子等多种物料
自动化量产能力:车规级量产设备要求单位小时产出达到数千颗,支持自动上下料,可对接全自动化产线
主流代表设备
路远全新一代热贴机型CPM-FS2-Sic最高贴装精度可达到±0.01mm
路远产品包括:
一、标准贴片机项目
主要客户群体有家电、汽车电子、3C产品、医疗产品等各个领域。
主要贴片机型号有:CPM-HX40、CPM-H6、CPM-F6、CPM-S5、CPM-F5
二、半导体贴片机
主要客户群体是功率器件如:IGBT模块、IPM模块、光通迅等领域。
主要贴片机型号有:CPM-FS10、CPM-F5DZ、CPM-FS2-SIC
三、辅料贴片机
主要客户群体是定体制异型元件如:泡棉、二维码、胶纸、锅仔片、导热硅胶、屏蔽盖等
主要贴片机型号有:CPM-FB、CPM-F3定制等
四、LED照明显示行业
主要客户群体是:LED照明如面板灯、球泡、灯条以及LED室内室外显示屏
主要机器型号有:CPM-F2T、CPM-L3T、CPM-L2、CPM-L1200等
五、焊接项目
主要客户群体是SMT生产线客户
主要机器型号是MK系列无铅回流焊以及MS系列氮气回流焊
六、散料贴片机
机型:CPM-F5BV
主要针对打样产品客户,可以实现散料贴片不需要编带
七、POP叠层工艺贴片机
型号:CPM-F5-3V
针对POP工艺,可以实现点胶/点锡同步运行。并且可以加装散料供料装置。